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關于半導體工藝這點你要知道(4)蝕刻工藝

大家好!這次是第4道工序!是蝕刻(Etching)工序,我們一起學習吧~

蝕刻(Etching)工序?.

還記得之前第3課光刻(PhotoLithography)工程中“照相~”的表達嗎?在這個蝕刻(Etching)過程中,我們將消除底圖中不必要的部分,即只保留電路圖案中必要的部分,而將不必要的部分削掉。更詳細地說,如果在光刻“PhotoLithography”工序中形成了光刻膠“PhotoResist”,那么在蝕刻工序中,就是使用液體或氣體(etchant)進行腐蝕,消除多余部分的工作。(其中etchant是進行腐蝕的物質的統稱)這種蝕刻技術是制作銅版畫的美術中經常使用的方法。19世紀畫家皮薩羅(CamillePissaro)和德加(EdgarDegas)也利用蝕刻制作了很多精致細致的線。Skylake-U Based Memory Tester (DRAM Test MB)。惠州芯片測試導電膠

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什么是探針(又名Pogo針或彈簧探針)?

-Pogo Pins 的基本結構是什么?

通用pogo銷由3個部分組成:桶、柱塞和彈簧。為了更好的穩定性,Pogo引腳通常插入外殼中,但在許多情況下,這些引腳只是直接焊接在PCB上。通常,pogo銷的柱塞與一個金墊接觸,稱為“接觸墊”或“墊”,以關閉電路。桶焊接在PCB上或附有電線。與扁平彈簧連接器相比,Pogo引腳通常被認為是更耐用的連接器類型,因為引腳不會劃傷接觸墊的表面。

什么是探針(又名Pogo針或彈簧探針)?惠州芯片測試導電膠DDR存儲器的優點就是能夠同時在時鐘循環的上升和下降沿提取數據,從而把給定時鐘頻率的數據速率提高1倍。

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關于半導體工藝(一)晶片工藝,這點你要知道:

2、晶片制造工藝

1)鑄錠(Ingot)硅是從沙子中提取的。要將其用作半導體材料,必須經過精煉。是提高純度的過程。將高純度提純的硅(Si)溶液放入鑄件中旋轉,就形成了硅柱。我們稱之為鑄錠。可利用硅晶體生長技術Czochralski法或FloatingZone法等獲得該錠。處理數納米(nm)微細工藝的半導體用鑄錠,在硅鑄錠中也使用超高純度的鑄錠。

2)切割鑄錠(WaferSlicing)去除鑄錠末端,用金剛石鋸切割成厚度均勻的薄片(Wafer)。晶片的直徑決定了晶片的大小。在可以使用的程度上切割得越薄,制造費用就越低,所以近切割得越來越薄。直徑的大小也變大是大勢所趨。這也是因為面積越大,制造的半導體芯片就越多。

3)磨削晶片表面(Lapping,Polishing)通過1),2)過程制成的晶片表面非常粗糙,有很多凹凸不平的瑕疵,因此在實際半導體工程中很難使用。因此,需要對表面進行研磨,使其光滑。通過研磨液和研磨設備將晶片表面磨得光滑。

關于半導體工藝,這點你要知道:(2)氧化(Oxidation)工藝

3、除此之外,影響氧化膜生長速度的半導體尺寸越來越小,而氧化膜作為保護膜的作用是必要的,因此氧化膜的厚度是決定半導體尺寸的重要因素。因此,為了減小氧化膜的厚度,需要協調氧化過程中的各種變量。我們在第2節中討論過的濕法氧化,干法氧化也是其中變量的一種種類,除此之外,晶片的晶體結構,Dummy Wafer(為了減少正面接觸氣體或稍后接觸氣體部分的氧化程度差異,可以利用Dummy Wafer作為晶片來調整氣體的均勻度)、摻雜濃度、表面缺陷、壓力、溫度和時間等因素都可能影響氧化膜的厚度。

和我一起來了解一下氧化膜的作用,氧化膜是如何形成的,以及這些氧化膜的形成速度受哪些東西的影響。半導體八大工序中的兩個工序已經完成;下節我們將討論在半導體上制作電路圖案的蝕刻工藝。深圳市革恩半導體有限公司為專業從事存儲器件測試解決方案公司。

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關于半導體工藝這點你要知道(4)蝕刻工藝

為什么要做好蝕刻(Etching)?!

2#蝕刻速率(Etch Rate)

蝕刻速率表示一段時間內膜的去除量。等離子體態的原子和離子的數量,或者這些原子和離子所具有的能量,決定了蝕刻的快慢。當然,如果量大,能量高,蝕刻速度就會增加。所以你可以調整這些數量和能量,以適應合適的蝕刻速度。此外還有根據膜質,將不同的蝕刻量按比例表示的選擇性(Selectivity)等考慮因素,所有這些細節都在蝕刻(Etching)工程組中進行著很多努力,以更加精細的方式進行。 大家對蝕刻(Etching)工序理解了嗎?等離子體,均勻度,蝕刻速度,下回見!深圳市革恩半導體有限公司與韓企對接合作十多年,業務領域及相關合作共贏。江蘇導電膠有哪些

關于半導體工藝這點你要知道 (5)擴散(Diffusion) 工藝。惠州芯片測試導電膠

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